
运营主体:以旗下昊华气体、黎明化工研究院等为核心平台,是国家集成电路刻蚀气 “一条龙” 攻关项目的核心承担单位。
行业地位:含氟电子特气稳居国内第一梯队,高端刻蚀气单品实现全球垄断;整体国内电子特气市占率约 5%,但在高壁垒含氟细分赛道市占率远超行业平均水平。

核心优势:与制冷剂业务共享氟化工上游原料与合成技术,全产业链布局下成本、技术壁垒高于纯特气厂商,产品从工业级到电子级的升级路径更顺畅。
二、核心产品矩阵

1. 六氟丁二烯(C₄F₆)—— 全球绝对龙头,AI 先进制程刚需
产能与格局:现有 1200 吨 / 年 5N(99.999%)高纯产能,全球产能第一;全球市占率约 57%,国内市占率超 90%。全球仅 3 家能量产 5N 级产品(昊华、日本关东电化、德国林德),日系厂商持续减产,供给持续向昊华集中。
技术壁垒:突破氟碳合成核心技术,杂质控制到 ppb 级,适配 7nm/5nm/3nm 先进制程,技术指标达国际领先水平。
AI 关联逻辑:主要用于高深宽比刻蚀工序,是 3D NAND、HBM 高带宽存储、Chiplet 先进封装的必备材料。AI 芯片制程越先进、堆叠层数越高,六氟丁二烯的单位用量就越大,需求增速显著高于普通半导体材料。
客户覆盖:已批量供货中芯国际、长江存储、长鑫存储、台积电、三星等全球头部晶圆厂。
产能:现有 5000 吨 / 年,位居国内前三;四川自贡基地新建 6000 吨 / 年装置,一期 3000 吨预计 2026 年内投产,达产后总产能将升至 8000 吨 / 年。
应用场景:晶圆制造、面板、先进封装的反应腔体清洗,是半导体产能扩张的通用耗材。
增长逻辑:一方面受益于国内晶圆厂扩产的国产替代,另一方面 AI 芯片制程升级带动单晶圆清洗气用量提升。
产能:现有 600 吨 / 年,国内唯一实现量产,全球第二梯队;规划新增 1000 吨 / 年,预计 2027 年投产,总产能将达 1600 吨 / 年。
应用场景:芯片金属沉积工序(接触孔、互连层),先进制程下用量持续提升。
近期催化:受钨原料出口管制影响,海外厂商原料断供,全球供应缺口扩大,产品价格大幅上涨,国产替代进程显著加速。
4. 其他配套产品
高纯四氟化碳:国内市占率超 60%,批量出口欧美,是刻蚀、清洗环节的通用气体。
电子级六氟化硫:现有产能 1500 吨 / 年,扩产后将达 6000 吨 / 年,是国内最大的电子级六氟化硫供应商。
同时布局溴化氢、氟甲烷等 8 类刻蚀 / 掺杂气体,均已实现国产化替代,正在研发光刻用电子混配气产品。
AI 算力全链条覆盖:电子特气对应 AI 芯片制造上游材料,制冷剂 / 氟化液对应 AI 机房液冷散热,公司形成了 “芯片制造 - 机房运维” 的 AI 算力氟材料全布局。
供给刚性一致:和三代制冷剂的配额约束类似,高端电子特气的技术认证、产能建设周期长(2-3 年),下游 AI 需求爆发下供需缺口将长期存在。
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