半导体用钨靶材是高纯度钨粉的第二大核心应用,其对原料纯度的要求甚至高于六氟化钨:
• 纯度要求:≥99.999%(5N),先进制程需达到5N5(99.9995%)乃至 6N(99.9999%)
分为两部分:
第一个是有规模营收的。
1. 江丰电子(300666.SZ)—— 全球唯一实现 300mm 钨靶稳定量产的中国企业
高致密 300mm 钨靶实现稳定批量供货,成功开发并量产 HCM 钽靶和 HCM 钛靶
2. 有研新材(600206.SH)—— 国内第二家实现半导体钨靶小批量供货的企业
12 英寸高纯钽靶材在3DNAND、DRAM/HBM 等先进存储领域通过验证并开始大批量应用,市场份额持续攀升第二个是还在探索中的。
公司有官方确认的半导体钨靶材研发或送样进展,但尚未形成稳定销售和营收
中钨高新,半导体用钨靶材正在向国内头部晶圆厂送样验证,尚未形成规模化营收
厦门钨业, 正在布局半导体用高纯钨靶材业务,目前处于实验室研发和中试阶段
隆华科技,应用于显示面板领域,半导体用靶材尚在探索布局。
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