A股唯一板级CMP设备!华海清科!

2026-06-17 10:32:342

玻璃基、PLP封装炒作,一定是设备先行,华海清科是少有的板级封装设备出货的!!!!
华海清科自主研发的国内首台510*515mm尺寸全自动板级CMP量产装备Ma­s­t­er-P510AP­EX已成功获得先进封装领域重要客户订单,将按计划进入客户端产线投入量产应用。这标志着国产高端装备在先进封装核心工艺上取得了关键性突破,也是华海清科CMP装备技术从晶圆级向板级延伸的重要里程碑。
在 AI 算力驱动下,板级封装(FOPLP/PLP、CoPoS 等)正快速走向更大尺寸、更高密度互连;与此同时,玻璃基板(TGV 路线)因其优异的高频特性与尺寸稳定性被寄予厚望——但两者都绕不开同一个致命前提:超平坦、低缺陷的表面一致性。一旦平坦化不够,RDL 对准误差、通孔露点不均匀、层间应力集中就会直接吃掉良率。
华海清科的切入点是它最硬的底座能力:CMP(化学机械抛光)与超精密减薄/抛光一体化。面向板级产品,公司推出 Master-P510 / Master-P510APEX——专为 ≤510×515mm 规格板件设计的高精度抛光装备,覆盖先进封装基板、玻璃基板等大尺寸工件的超平坦化需求;其中 APEX(双抛光头+双研磨盘)还集成在线清洗、全自动上下料与翻转模块,目标直指连续稳定运行的全自动量产线。该机型已取得先进封装重要客户订单、进入客户端产线推进量产应用,是国内少见的"从样机→工艺验证→量产导入"的板级 CMP 节点突破。
落到玻璃基板/TGV 场景:通孔金属化后会留下多余金属层与微观不平整,CMP 正是实现全局平坦化的关键工序,决定后续多层布线与对准可靠性。华海清科把前道积累的终点检测、均匀性控制、缺陷与洁净度管理,迁移到大尺寸"板类工件"上,并提供从减薄→抛光→清洗的成套衔接能力(如 Versatile‑GP300 等超精密减薄抛光方案)。
一句话定位:不是卖单机台,而是把板级封装与玻璃基板的"平坦化—良率—量产节奏"做成可复制的工程系统。在国产替代与先进封装同步加速的窗口期,这套能力的位置感非常明确。

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