中科仪（沈阳中科仪）产品完全可以用于量子计算、量子通信、量子测量全产业链，是国内量子产业国产化刚需核心设备，覆盖量子材料制备、芯片加工、低温腔体环境、器件封装全环节，国外受瓦森纳协定禁运成套真空装备，是国内量子科研主力国产供应商。
一、四大主力产品+在量子领域作用
1、干式真空泵+磁悬浮分子泵+超高真空成套系统（量子底层环境基石）
量子比特、超导芯片必须在10⁻⁹～10⁻¹Pa超高真空环境工作，微量气体杂质会破坏量子相干性、造成器件报废。
- 作用：持续维持量子实验室、稀释制冷腔体、量子芯片产线超洁净无油超高真空；适配极低温（毫开级）腔体密封（自研金属-陶瓷一体化密封，国内量子低温腔体主流方案）；
- 落地：供货中科大（祖冲之号）、本源量子、国盾量子、清华/浙大各大量子重点实验室，是国产量子主机标配真空系统。
2、MBE分子束外延设备（量子材料“原子级雕刻机”，核心刚需）
国内全自主量产MBE龙头，1979年造出国内首台MBE，累计交付60+台，科研市场国内市占第一。
- 作用：原子层级精准生长超导量子比特晶圆、二维材料（石墨烯/氮化硼）、拓扑绝缘体、量子点、单光子源芯片材料；超导量子计算机的核心量子比特基材几乎依赖MBE制备；
- 场景：本源悟空、祖冲之系列超导量子处理器核心材料制备设备，支撑国产超导量子芯片研发迭代。
3、PVD物理气相沉积设备（量子薄膜量产装备）
- 作用：在超高真空下沉积纳米级超导薄膜、约瑟夫森结电极、谐振腔金属层，MBE做单晶精密外延、PVD做大面积极薄薄膜量产，二者配套形成量子器件从研发到小批量生产完整工艺链；
- 应用：超导量子比特布线、量子传感器、量子通信单光子探测器镀膜生产。
4、量子超导磁体/低温腔体封装产线（量子整机工程化配套）
2025年建成量子低温封装中试线，年产能50套。
- 作用：量子芯片低温封装、稀释制冷腔体集成、超导磁体密封装配，解决极低温环境密封漏热、漏气难题，补齐国产量子计算机整机封装国产化短板。
二、覆盖量子三大细分赛道
1. 量子计算：超导量子芯片全链条（材料→镀膜→真空环境→低温封装）全配套，国产超导量子计算机硬件上游核心设备商；
2. 量子通信：单光子源、量子探测器材料制备、器件真空镀膜；
3. 量子精密测量：量子传感器、原子磁力计所需特种薄膜与超高真空腔体配套。
三、行业关键价值（国产化不可替代）
欧美对量子级超高真空系统、高端MBE实施出口封锁，中科仪是国内少数可成套提供全链条国产设备的厂商，大幅降低国内量子产业对进口设备依赖，保障国内量子科研自主可控。
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