恒坤新材KrF光刻胶树脂取得重要进展

2026-06-11 15:33:521
近日,依托2030新一代人工智能国家科技重大专项总体部署,上海人工智能实验室(上海AI实验室)联合厦门大学、苏州国家实验室等合作单位基于“书生”科学大模型与“书生”科学发现平台,构建了“AI决策+自动化合成”的闭环研发体系,实现了高纯度、高一致性、高效率的KrF光刻胶树脂创制。这一突破使高端光刻胶树脂的稳定制备不再依赖于极少数国外供应商的“黑箱能力”,为全球芯片材料领域探索出一条可标准化、快速迭代的新路径。
目前,上述平台已支撑多批次自动化合成与性能验证,批次间一致性得到显著提升。其中,厦门恒坤新材料科技股份有限公司基于光刻胶配方开发经验,完成了树脂适配,产业关键指标均达预期后续将进入客户端验证阶段。

百度AI分析:截至2026年6月,恒坤新材在KrF光刻胶树脂领域取得重要进展,主要体现为‌完成树脂适配并进入客户端验证阶段‌。

核心进展‌完成树脂适配与指标达标‌:依托上海人工智能实验室联合团队开发的“AI决策+自动化合成”闭环研发体系,恒坤新材结合其在光刻胶多组分配方开发方面的经验,完成了新型KrF光刻胶树脂的系统性适配。产品关键性能指标均达到预期目标,尤其在‌邻近效应(Proximity Effect)控制‌方面展现出显著优势 。‌进入客户端验证阶段‌:目前该树脂已完成内部评估,后续将正式进入‌客户端验证阶段‌。这标志着国产高端KrF光刻胶树脂逐步迈向规模化应用,离批量供货仅一步之遥 。‌‌技术突破亮点‌高纯度与高稳定性‌:通过全流程自动化控制及多次“溶解-沉淀”相转移纯化,金属杂质含量稳定控制在‌10ppb以下‌,满足高端光刻工艺对材料纯度的极致要求 。‌批次一致性提升‌:分子量和PDI(多分散指数)的批次稳定性达到‌±10%‌,且PDI<1.3,有效解决了传统工艺中产品批次间性能差异较大的痛点 。‌打破“技术黑箱”‌:此次突破使高端光刻胶树脂的稳定制备不再依赖极少数国外供应商,探索出一条可标准化、快速迭代的芯片材料研发新路径 。‌‌公司背景与市场地位‌细分赛道龙头‌:恒坤新材是国内SOC(旋涂碳膜)和BARC(底部抗反射涂层)的绝对龙头,同时在KrF/ArF光刻胶领域属于一线国产厂商 。‌深度绑定头部客户‌:公司前两大客户为国内存储芯片巨头(如长江存储、长鑫存储),营收占比极高,且已覆盖国内Top 10晶圆厂 。此次KrF树脂的突破将进一步夯实其作为国产光刻材料第一梯队的地位 。‌‌

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